超声扫描显微镜是什么？怎么检测样品的？

超声扫描显微镜简称C-SAM,是用于检测物体表面、内部区域及内部投影,产生高分辨率特征图像的检测技术。由于它能获得反映物体内部信息的声学图像而被广泛应用于无损检测领域。超声波扫描主要用于检测电子元器件、LED、金属基板的分层、裂纹等缺陷（裂纹、分层、空洞等）；通过图像对比度判别材料内部声阻抗差异、确定缺陷形状和尺寸、确定缺陷方位。

超声波在介质中传播时，若遇到不同密度或弹性系数的物质，会产生反射回波，而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异，扫描声学显微镜（SAM）利用此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成图像，超声换能器能发出一定频率（1MHz~500MHz）的超声波，经过声学透镜聚焦，由耦合介质传到样品上。

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超声换能器由电子开关控制，使其在发射方式和接收方式之间交替变换。超声脉冲透射进入样品内部并被样品内的某个界面反射形成回波，其往返的时间由界面到换能器的距离决定，回波由示波器显示，其显示的波形是样品不同界面的反射强度与时间（或距离）的关系。通过控制时间窗口的时间，采集某一特定界面的回波而排除其它回波，超声换能器在样品上方以二维方式作机械扫描，通过改变换能器的水平位置，在平面上以接卸扫描的方式产生一幅反射声波随反射平面分布的图像。

C-SAM是的重要技术手段之一，与X射线分析具有互补性，X-ray只是穿透，可以看到Voids,Crack,Delamination，但不能判断出缺陷在哪个层面，C-sam技术则有更多优势。