华南检测 | 表面粗糙度测试技术解析

表面粗糙度（Surface Roughness）就是我们日常测量中所说的面粗糙度，可以理解为在加工产品过程中细小间距和微小峰谷的不平整度。通常被定义为两个波峰值或者两个波谷值之间的微小距离（波距），在一般情况下波距都在1mm以内或者更小，也可定义为微观轮廓的测量，俗称微观误差值。以下广东省华南检测技术有限公司给您介绍表面粗糙度测试技术全解析。

一、 粗糙度的表征参数

表面粗糙度中的参数，主要从峰的高度、谷的深度、平均高差、宽度、峰的分布等维度进行表征，表面粗糙度中常用的参数为基于线轮廓的Ra、Rz与Rsm，其定义与表征意义如表所示，其他有关表面粗糙度各种参数（包括基于面轮廓的Sa、Sz等参数）的详细定义可参考ISO 25178-2-2012、GB/T 3505-2009与GB/T 33523.2-2017等标准。

二、表面粗糙度的检测仪器

对于常规的表面粗糙度检测，可根据样品情况与测试要求，选择接触式表面粗糙度测试仪或激光共聚焦显微镜进行测试，对于晶圆等精密样品一般采用原子力显微镜（AFM）进行测试。

三、表面粗糙度的评价依据

1、取样长度

各参数的单位长度，取样长度是评价表面粗糙度规定一段基准线的长度。在ISO1997标准下一般使用0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm为基准长度。

2、评价长度

由N个基准长度所构成。零部件表面各部分的表面粗糙度，在一个基准长度上无法真实地体现出粗糙度真实参数，而是需要取N个取样长度来评定表面粗糙度。在ISO1997标准下评定长度一般为N等于5。

3、基准线

基准线是评定粗糙度参数的轮廓中线。一般有最小二乘法中线和轮廓算术平均中线。

【最小二乘法中线】是把测量过程中采集的点进行最小二乘法计算。

【轮廓算术平均中线】在取样长度内，使中线上下两部分轮廓的面积相等。

理论上最小二乘中线是理想的基准线，但在实际应用中很难获得，因此一般用轮廓的算术平均中线代替，且测量时可用一根位置近似的直线进行代替使用。

四、表面粗糙度如何获得

表面粗糙度测量机是以安装高敏感性金刚石测针划过表面，就像是留声机的拾音器一样。再将大规模波纹以及轮廓的小波长粗糙度从较长波长中分离出来，即测量仪做电子过滤。

五、华南检测实验室

广东省华南检测技术有限公司，坐落在东莞大岭山镇,毗邻松山湖高新技术 产业开发区，专注于汽车电子、消费电子等领域的可靠性检测服务， 服务对象 涵盖半导体、电子元器件、纳米材料、 通讯、 新能源、汽车、航天航空、教育及科研等多个领域。

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实验室配备了业界先进的测试设备，基于相关产品及元器件的失效原理，对测试样品进行可靠性检测、失效分析以及功能性能验证。配备主要仪器包括但不限于：各种规格环境可靠性试验箱、振动台、机械冲击台、各种力学试验设备、 包装可靠性试验设备，以及相应的声、 光、电性能检测系统等。